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마이크로 렌즈 어레이를 포함하는 이미지 센서 및 그 제조방법
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2012-12-10 -
210
- 구분
- 전자/정보통신
- 특허권자
- 한국기초과학지원연구원
- 출원번호
- KR2008-0126145
- 등록번호
- KR0996669
기판에서 멀어질수록 화합물 반도체의 알루미늄 조성비를 점진적으로 증가시켜 마이크로 렌즈 형성층을 성장한 후, 상기 기판에 인접한 영역은 산화 속도를 느리게 하고, 상기 기판에서 멀어질수록 산화속도가 빠르게 하여 산화 후 산화된 영역과 산화되지 않은 영역의 계면이 렌즈형태가 되도록 하여 이렇게 형성된 렌즈를 이미지센서에 집적함으로서, 마이크로렌즈가 집적된 이미지 센서의 제조단가를 낮추고 이미지 센서의 신호대 잡음비와 해상도를 증가시킴과 동시에 감도를 향상시킬 수 있는 효과가 있음
<이미지 센서 단면도>
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